天天要闻:荷兰出口管控限制高端DUV光刻机

杰夫视点   2023-07-04 06:47:03


(资料图)

可能很多人都已经知道了荷兰正式发布了出口管制的条例,这个出口管控新规虽然没具体说明是针对什么厂商以及什么国家,但很显然中国是必然在受限制的范围内。不过我们认为可能很多人甚至厂商都没认识到这次出口管理的严重性,事实上荷兰不但对未来ASML销售到我国的光刻机进行了限制,甚至过去已经卖给中国厂商,并且已经正常运行使用的DUV光刻机同样会受到这次出口管制的限制……可以说荷兰政府这次是堵死了所有漏洞。

我们已经知道,从2023年9月起,荷兰光刻机制造商ASML将不再被允许向国内出口某些特定机种的高端DUV光刻机设备,荷兰外贸大臣日前在宣布此项新规后,也同时在荷兰政府公报上,发布了一份技术文件,详细概述需要向当局取得出口许可证的规格。而在这份技术文件中,明确表示了限制的手段和范围。

荷兰外贸大臣表示,这项管制新规将专门适用于少数公司和特定产品型号,很显然这说的就是ASML公司。这位荷兰高管强调,该计划可以解决当前政策下“最重要的漏洞”,同时也将尽可能不扰乱全球芯片生产。而ASML也在第一时间表示,由于这些出口管制法规,ASML需要向荷兰政府申请其最先进的浸润式DUV微影设备(TWINSCAN NXT:2000i和后续浸润式机种),所有出货的出口许可证。

不过除了对未来出口做了限制之外,荷兰这次新规最狠的地方是,对已经销售到海外,甚至已经正常运行的DUV光刻机都做了相应的限制。事实上,在荷兰出台管控新规之前,据悉国内有大量厂商抢购高端DUV订单,有的DUV光刻机甚至已经运送到国内并且开始工作。而在新规之后,国内厂商过去的高端DUV订单,只能转向ASML最低端的DUV光刻机了,也就是 TWINSCAN NXT:1980i。

可能很多人会疑惑,过去已经卖到了中国的高端DUV光刻机,并且已经正常运行了,那还怎么做限制?而这就是荷兰这次新规最让人头疼的地方。荷兰外贸大臣已经证实:除了尚未交货的高端DUV光刻机,要出口必须申请许可外,对于已经在客户端导入生产、正在运行的DUV设备,荷兰企业在替客户进行维修之前,也必须向政府取得许可方可放行。

要知道光刻机属于精密仪器,经常都需要保养维护,而且出了故障也需要维修,而无论是维修还是维护,都不是购买光刻机的厂商能完成的,需要供应商ASML亲自出手。这就意味着国内过去所有已经购买运行的高端DUV光刻机,当需要维护以及维修的时候,也需要ASML向荷兰政府取得许可才行。如果荷兰政府不允许的话,国内这些光刻机将无法获得ASML的服务,坏了就等于变成废铁,而无法维护的话使用寿命也会大大降低,同时使得厂商的制造成本不断提升!

从我们了解的情况是,目前国内大多数半导体以及芯片领域的厂商已经将所有订单,都转为不受荷兰出口管控的ASML设备了,也就是 TWINSCAN NXT:1980i。而之前抢购到高端DUV光刻机的企业,以及正常运行使用的DUV光刻机,变数就比较多了。按照荷兰政府的说法,这些企业未来每一次提出机器维护申请,当局都会根据具体情况,考虑是否可以进行维护。

这个问题其实对于国内从事芯片制造的公司来说非常麻烦,我们可以想象一下,要是中芯国际购买的DUV光刻机需要维护以及保养,而荷兰政府不允许的话,那么中芯国际的芯片代工业务必然要受到影响。当然这些公司可以购买低端DUV光刻机,但是制造成本就要大大提升,良率和产能也会比过去低不少。只能说,荷兰这次的出口管控牵涉到的范围的确比较广,也的确让人感到棘手!

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